| Обозначение: |  ГОСТ 19658-81 |
| Обозначение англ: | GOST 19658-81 |
| Статус: | действует |
| Название рус.: | Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия |
| Название англ.: | Silicon monocrystalline in ingots. Specifications |
| Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
| Дата актуализации: | 01.01.2021 |
| Дата введения: | 01.01.1983 |
| Область применения: | Стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник. |
| Оглавление: | 1 Технические требования
2 Правила приемки
3 Методы контроля
4 Упаковка, маркировка, транспортирование и хранение
5 Гарантии изготовителя
Приложение 1а
Приложение 1 Определение монокристалличности и отсутствия внешних дефектов на поверхности слитков кремния
Приложение 2 Определение типа электропроводности
Приложение 3 Измерение удельного электрического сопротивления четырехзондовым методом
Приложение 4 Определение плотности дислокаций в монокристаллических слитках кремния
Приложение 5 Измерение угла отклонения плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния от заданной кристаллографической плоскости и идентификация кристаллографической ориентации плоскости торцевого среза слитка с заданной кристаллографической плоскостью рентгеновским дифрактометрическим методом
Приложение 6 Определение ула отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллографической плоскости слитков монокристаллического кремния оптическим методом
Приложение 7 Измерение концентрации атомов оптически активного кислорода в слитках монокристаллического кремния
Приложение 8 Измерение времени жизни неравновесных носителей заряда (н.н.з.) в слитках монокристаллического кремния методом модуляции проводимости в точечном контакте
Приложение 8а Измерение концентрации атомов оптически активного углерода в слитках монокристаллического кремния
Приложение 9 Контроль наличия свирлевых дефектов в бездислокационных слитках монокристаллического кремния |
| Разработан: | Министерство цветной металлургии СССР
|
| Утверждён: | 27.02.1981 Госстандарт СССР (USSR Gosstandart 1090)
|
| Издан: | ИПК Издательство стандартов (2001 г. )
|
|
| Заменяет собой: |  ГОСТ 19658-74 «Кремний монокристаллический. Технические требования. Маркировка, упаковка, транспортирование и хранение» |
| Нормативные ссылки: | |
ГОСТ 2.004-88 «Единая система конструкторской документации. Общие требования к выполнению конструкторских и технологических документов на печатающих и графических устройствах вывода ЭВМ»
