1.1. Настоящая государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей от государственного первичного специального эталона (далее по тексту - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей (ГЭТ 183-2019) средствам измерений при помощи рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи.

1.2. Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

1.3. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей представлена в Приложении А.

2.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности PV (EFE) оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм и передачи единицы длины при помощи рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

автоматизированная установка на базе интерферометра Физо с реализованным методом фазовых шагов;

меры отклонений от плоскостности диаметрами 100, 200 и 280 мм.

2.3. Диапазон значений единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей, воспроизводимой эталоном, составляет от 0,002 до 2,00 мкм.

2.4. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей:

а) для оптических поверхностей размером от 50 до 100 мм вкл.:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,8 нм при 30 независимых измерениях, неисключенной систематической погрешностью , не превышающей 1,7 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u_A = 0,8 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u_B = 0,9 нм,

суммарная стандартная неопределенность, u_C = 1,2 нм,

расширенная неопределенность при k = 2, U = 2,4 нм,

б) для оптических поверхностей размером св. 100 до 200 мм вкл.:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 1,4 нм при 30 независимых измерениях, неисключенной систематической погрешностью , не превышающей 2,4 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u_A = 1,4 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u_B = 1,3 нм,

суммарная стандартная неопределенность, u_C = 1,9 нм,

расширенная неопределенность при k = 2, U = 3,8 нм,

в) для оптических поверхностей размером св. 200 до 280 мм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 1,5 нм при 30 независимых измерениях, неисключенной систематической погрешностью , не превышающей 5,2 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u_A = 1,5 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u_B = 2,1 нм,

суммарная стандартная неопределенность, u_C = 3,1 нм,

расширенная неопределенность при k = 2, U = 6,2 нм.

2.5. Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей с указанной точностью должны быть соблюдены правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

2.6. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

3.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют меры отклонений от плоскостности диаметром до 280 мм. Отклонение от плоскостности PV рабочих эталонов 1-го разряда не превышает 0,08 мкм.

3.1.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 1-го разряда составляют 0,01 мкм.

3.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 2-го, 4-го разрядов и средствам измерений методом прямых измерений.

3.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 120 мм. Диапазон измерений параметров отклонений от плоскостности PV рабочих эталонов 2-го разряда составляет от 0,002 до 2,00 мкм.

3.2.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 2-го разряда составляют 0,02 мкм.

3.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 3-го разряда методом прямых измерений.

3.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют пластины плоские стеклянные диаметром от 60 до 120 мм. Отклонение от плоскостности PV рабочих эталонов 3-го разряда не превышает 0,06 мкм.

3.3.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 3-го разряда составляют 0,04 мкм.

3.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 4-го разряда и средствам измерений методом непосредственного сличения или методом прямых измерений.

3.4.1. В качестве рабочих эталонов 4-го разряда применяют бруски контрольные длиной от 150 до 500 мм, интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 120 мм и интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 280 мм. Диапазон измерений параметров отклонений от плоскостности PV рабочих эталонов 4-го разряда составляет от 0,002 до 2,00 мкм.

3.4.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 4-го разряда составляют от 0,08 до 0,12 мкм.

3.4.3. Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для передачи единицы длины средствам измерений методом непосредственного сличения и методом прямых измерений.

4.1. В качестве средств измерений применяют линейки лекальные длиной от 50 до 500 мм, пластины плоскопараллельные стеклянные размером от 15 до 90 мм, пластины плоские стеклянные диаметром от 60 до 120 мм, меры отклонений от плоскостности размером от 100 до 280 мм и приборы для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 280 мм. Диапазон измерений параметров отклонений от плоскостности PV средств измерений составляет от 0,002 до 3,00 мкм.

4.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности средств измерений параметров отклонений от плоскостности PV составляют от 0,15 до 0,3 мкм.