1.1. Настоящая государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей от государственного первичного специального эталона (далее - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности (ГЭТ 183-2022) средствам измерений при помощи рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи.

1.2. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей представлена в Приложении А.

1.3. Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

2.1. В настоящей государственной поверочной схеме применены следующие обозначения и сокращения:

PV - параметр отклонения от плоскостности (максимальный размах);

PV_S - параметр отклонения от сферичности (максимальный размах);

PV_H - отклонение от прямолинейности.

3.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности PV оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм и параметров отклонений от сферичности PV_S оптических поверхностей размером от 25 до 250 мм и передачи единицы при помощи рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

3.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

автоматизированная установка на базе интерферометра Физо с реализованным методом фазовых шагов для измерений отклонений формы плоских оптических поверхностей "ФИЗО" (далее - "ФИЗО");

эталонная интерференционная установка на базе Физо-интерферометрии для измерений параметров отклонений формы выпуклых и вогнутых сферических поверхностей "ФТИ" (далее - "ФТИ");

эталонная интерференционная установка с ортогональным ходом лучей для измерений отклонений формы выпуклых сферических поверхностей "УИП" (далее - "УИП").

Вспомогательное оборудование:

меры отклонений от плоскостности диаметрами 100, 200 и 280 мм;

комплект мер отклонений от сферичности для выпуклых и вогнутых поверхностей с разными номинальными радиусами кривизны поверхности R (R = 124,74 мм, R = 195,88 мм, R = 265,5 мм, R = 453,9 мм, R = 561,0 мм и R = 799,8 мм);

мера отклонения от сферичности с номинальным радиусом кривизны поверхности R = 12,7 мм.

3.3. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности PV оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм в диапазоне от 0,002 до 2,0 мкм с метрологическими характеристиками, указанными в таблице 1, и параметров отклонений от сферичности PV_S оптических поверхностей размером от 25 до 250 мм в диапазоне от 0,002 до 2,0 мкм с метрологическими характеристиками, указанными в таблицах 2 - 3.

3.4. Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины с указанной погрешностью должны соблюдаться правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

3.5. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

3.6. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от сферичности оптических поверхностей рабочим эталонам методом прямых измерений.

4.1.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют меры отклонения от плоскостности размером до 280 мм в диапазоне параметра PV до 0,08 мкм.

4.1.1.2. Доверительная граница абсолютной погрешности (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 1-го разряда составляет 0,01 мкм.

4.1.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го, 4-го разрядов и средств измерений методом прямых измерений.

4.1.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 120 мм в диапазоне измерений PV от 0,002 до 2,00 мкм.

4.1.2.2. Предел допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 2-го разряда составляет 0,02 мкм.

4.1.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 3-го разряда методом прямых измерений.

4.1.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют пластины плоские стеклянные размером от 60 до 120 мм в диапазоне параметра PV до 0,06 мкм.

4.1.3.2. Доверительная граница абсолютной погрешности 5 (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 3-го разряда составляет 0,04 мкм.

4.1.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 4-го разряда и средств измерений методами непосредственного сличения и прямых измерений.

4.1.4.1. В качестве рабочих эталонов 4-го разряда применяют интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 120 мм и интерферометры для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 280 мм в диапазоне измерений PV от 0,002 до 2,00 мкм и бруски контрольные длиной от 150 до 500 мм в диапазоне измерений PV_H до 1,00 мкм.

4.1.4.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности рабочих эталонов 4-го разряда составляют от 0,08 до 0,09 мкм, доверительная граница абсолютной погрешности (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов 4-го разряда составляет 0,12 мкм.

4.1.4.3. Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки средств измерений методами непосредственного сличения и прямых измерений.

4.2.1. В качестве рабочих эталонов применяют меры отклонений от сферичности для выпуклых и вогнутых поверхностей размером от 25 до 250 мм в диапазоне измерений PV_S до 0,06 мкм.

4.2.2. Доверительная граница абсолютной погрешности (при доверительной вероятности 0,95) рабочих эталонов составляет от 0,03 до 0,06 мкм.

4.2.3. Рабочие эталоны применяют для поверки средств измерений методом прямых измерений.

5.1.1. В качестве средств измерений применяют пластины плоскопараллельные стеклянные размером от 15 до 91 мм, пластины плоские стеклянные размером до 120 мм, приборы для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических размером до 120 мм, меры отклонений от плоскостности размером до 280 мм и приборы для измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей размером до 280 мм в диапазоне измерений параметра PV от 0,002 до 2,0 мкм и линейки лекальные длиной от 50 до 500 мм, бруски контрольные длиной от 100 до 1000 мм в диапазоне измерений параметра PV_H до 4,0 мкм.

5.1.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности средств измерений составляют от 0,08 до 0,3 мкм.

5.2.1. В качестве средств измерений применяют приборы для измерений параметров отклонений формы сферических поверхностей размером от 25 до 1000 мм в диапазоне измерений PV_S от 0,002 до 2,0 мкм.

5.2.2. Пределы допускаемой абсолютной погрешности средств измерений составляют от 0,06 до 0,24 мкм.

PV - параметр отклонении от плоскостности (максимальный размах)

PV_H - отклонение от прямолинейности

PV_S - параметр отклонения от сферичности (максимальный размах)