1 РАЗРАБОТАНЫ Государственным Федеральным Унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы (ВНИИМС)" Госстандарта России

ВНЕСЕНЫ Управлением метрологии Госстандарта России

2 ПРИНЯТЫ И ВВЕДЕНЫ В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госстандарта России от 2 апреля 2001 г. N 156-ст

3 ВВЕДЕНЫ ВПЕРВЫЕ

Настоящие рекомендации распространяются на государственную поверочную схему для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 20000 мкм и устанавливают назначение установки высшей точности для воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 30 мкм, ее основные характеристики и порядок передачи размера единицы длины - метра (м) от установки высшей точности и эталонов, заимствованных из других поверочных схем, при помощи рабочих эталонов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки.

В настоящих рекомендациях использованы ссылки на следующие нормативные документы:

ГОСТ 8.296-78 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 

ГОСТ 2475-88 Проволочки и ролики. Технические условия

ГОСТ 25373-82 Лазеры измерительные. Типы. Основные параметры. Технические требования

МИ 1903-97 Государственная система обеспечения единства измерений. Эталоны толщины покрытий. Методика поверки

МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.

3.1 Установка высшей точности предназначена для воспроизведения и хранения единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 30 мкм и передачи размера единицы при помощи рабочих эталонов 1-го разряда рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве, с целью обеспечения единства измерений в стране.

3.2 В основу измерений толщины покрытий, выполняемых в Российской Федерации, положена единица, воспроизводимая указанной установкой высшей точности.

3.3 Установка высшей точности состоит из комплекса следующих средств измерений:

- оптический квантовый генератор по ГОСТ 25373;

- специальный интерферометр;

- система обработки информации.

3.4 Диапазон значений единицы длины в области измерений толщины покрытий, воспроизводимых установкой высшей точности, составляет от 1 до 30 мкм.

3.5 Установка высшей точности обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений толщины покрытий со среднеквадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,006 мкм. Неисключенная систематическая погрешность не превышает 0,009 мкм.

3.6 Для обеспечения воспроизведения единицы длины в области измерений толщины покрытий с указанной точностью должны быть соблюдены правила хранения и применения установки высшей точности, утвержденные в установленном порядке.

3.7 Установку высшей точности применяют для передачи размера единицы длины в области измерений толщины покрытий рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

4.1.1 В качестве эталонов, заимствованных из других поверочных схем, применяют плоскопараллельные концевые меры длины 1-го разряда по МИ 2060, проволочки измерительные класса 0 по ГОСТ 2475 и контактные профилографы 1-го разряда по ГОСТ 8.296.

4.1.2 Плоскопараллельные концевые меры длины применяют для поверки установок 1-го разряда, предназначенных для поверки мер толщины покрытий, и установок 2-го разряда, предназначенных для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий методом прямых измерений.

4.1.3 Проволочки измерительные класса 0 применяют для косвенных измерений мер толщины немагнитных токопроводящих покрытий на диэлектрических основаниях трубчатых 1-го разряда.

4.1.4 Контактные профилографы применяют для поверки эталонных 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий в соответствии с МИ 1903.

4.2.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют:

установки для поверки мер толщины покрытий в диапазоне от 1 до 1000 мкм;

меры толщины немагнитных токопроводящих покрытий на диэлектрических основаниях трубчатые (диаметр от 0,6 до 1,5 мм) в диапазоне от 5 до 100 мкм;

меры толщины полупроводниковых покрытий на диэлектрических основаниях в диапазоне от 5 до 30 мкм;

меры толщины диэлектрических покрытий на полупроводниковых основаниях в диапазоне от 1 до 5 мкм.

4.2.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей для установок 1-го разряда не превышают (0,05 + 0,01h) мкм (где h - толщина покрытия в мкм), для мер толщины покрытий трубчатых - не превышают 0,6 мкм, для других мер толщины покрытий - не превышают (0,1 + 0,025h) мкм.

4.2.3 Установки 1-го разряда применяют для поверки эталонных 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий методом прямых измерений.

Меры толщины покрытий трубчатые 1-го разряда применяют для поверки мер толщины покрытий трубчатых 2-го разряда сличением при помощи компаратора.

Меры толщины покрытий на полупроводниковых и диэлектрических основаниях применяют для поверки соответствующих рабочих толщиномеров покрытий методом прямых измерений.

4.3.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют меры толщины покрытий в диапазоне от 2 до 1000 мкм, меры толщины немагнитных токопроводящих покрытий на диэлектрических основаниях трубчатые в диапазоне от 5 до 100 мкм и установки для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне от 1 до 20000 мкм.

4.3.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей мер толщины покрытий составляют от (0,1 + 0,025h) до (0,3 + 0,025h) мкм, мер толщины покрытий трубчатых не превышают 1,5 мкм, установок для поверки магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий не превышают 0,6 мкм в диапазоне от 1 до 50 мкм; 2,0 мкм - в диапазоне от 50 до 2000 мкм; 20 мкм - в диапазоне от 2000 до 20000 мкм.

4.3.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки толщиномеров методом прямых измерений, рабочих мер толщины покрытий трубчатых сличением при помощи компаратора.

5.1 В качестве рабочих средств измерений применяют меры толщины покрытий различных сочетаний материалов оснований и покрытий, меры толщины покрытий трубчатые и толщиномеры покрытий, сгруппированные по назначению в зависимости от вида материалов покрытий и оснований измеряемых объектов.

5.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей мер толщины покрытий составляют от (0,2 + 0,05h) до (0,3 + 0,05h) мкм, мер толщины покрытий трубчатых не превышают 2,5 мкм.

Пределы допускаемых абсолютных погрешностей толщиномеров покрытий составляют от 0,4 до 200,0 мкм.