Скачать ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Дата актуализации: 01.01.2021

ГОСТ Р 8.659-2009

Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Обозначение: ГОСТ Р 8.659-2009
Обозначение англ: GOST R 8.659-2009
Статус:введен впервые
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Название англ.:State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
Дата добавления в базу:01.02.2017
Дата актуализации:01.01.2021
Дата введения:01.01.2011
Область применения:Стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Операции поверки
4 Средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки
8 Подготовка и проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Библиография
Разработан: ФГУП ВНИИОФИ
Утверждён:15.12.2009 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (972-ст)
Издан: Стандартинформ (2010 г. )
Нормативные ссылки:
ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009ГОСТ Р 8.659-2009