1.1. Настоящая Государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости от Государственного первичного специального эталона (далее по тексту - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra (ГЭТ 113-2014) средствам измерений при помощи вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

1.2. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм представлена в Приложении А.

Примечание:

Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров шероховатости с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

Допускается поверять средства измерений, тип которых был утвержден до начала введения в действие данной государственной поверочной схемы, с использованием эталонов, аттестованных в установленном порядке, и приведенных в описании типа и методике поверки средства измерений.

2.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности и передачи единицы при помощи вторичных и рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

модернизированный прецизионный метрологический сканирующий зондовый микроскоп нанометрового диапазона НаноСкан-3Di в диапазоне от 0,001 до 50 мкм;

модернизированный автоматизированный интерференционный микроскоп МИА-М1 в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм;

модернизированный прецизионный контактный профилометр нанометрового диапазона Talystep в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм;

модернизированный контактный широкодиапазонный профилометр Form TalySurf в диапазоне от 1,0 до 3000 мкм.

2.3. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров шероховатости поверхности:

а) Rmax и Rz в диапазоне от 0,001 до 50 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 12,5 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,2·10^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 1,4·10^-3 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u_A = 0,2·10^-3 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u_B = 1,4·10^-3 мкм,

суммарная стандартная неопределенность, u_C = 1,4·10^-3 мкм,

расширенная неопределенность при k = 2, U = 2,8·10^-3 мкм;

б) Rmax и Rz в диапазоне от 0,0015 до 3,0 мкм; Ra в диапазоне от 0,001 до 0,75 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,2·10^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 1,3·10^-3 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u_A = 0,2·10^-3 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u_B = 1,3·10^-3 мкм,

суммарная стандартная неопределенность, u_C = 1,3·10^-3 мкм,

расширенная неопределенность при k = 2, U = 2,6·10^-3 мкм;

в) Rmax и Rz в диапазоне от 0,025 до 0,1 мкм; Ra в диапазоне от 0,006 до 0,025 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 1,5·10^-3 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 1,2·10^-3 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u_A = 1,5·10^-3 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u_B = 1,2·10^-3 мкм,

суммарная стандартная неопределенность, u_C = 1,9·10^-3 мкм,

расширенная неопределенность при k = 2, U = 3,8·10^-3 мкм;

г) Rmax и Rz в диапазоне от 1 до 3000 мкм; Ra в диапазоне от 0,4 до 750 мкм:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 4,0·10^-2 мкм при 20 независимых измерениях, при неисключенной систематической погрешности , не превышающей 1,3·10^-2 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, u_A = 4,0·10^-2 мкм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу B, u_B = 1,3·10^-2 мкм,

суммарная стандартная неопределенность, u_C = 4,2·10^-2 мкм,

расширенная неопределенность при k = 2, U = 8,4·10^-2 мкм.

2.4. Для обеспечения воспроизведения и передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra с указанной точностью должны быть соблюдены правила содержания и применения ГПСЭ, утвержденные в установленном порядке.

2.5. ГПСЭ применяют для передачи единицы длины в области измерений параметров шероховатости вторичным эталонам и рабочим эталонам 1-го разряда методом сличения при помощи мер, аттестованных в качестве вторичного эталона, и методом прямых измерений.

3.1. В качестве вторичных эталонов используют оптические профилометры и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

3.2. Средние квадратические отклонения суммарной погрешности результата сличений вторичных эталонов с ГПСЭ при 20 независимых измерениях составляют от 0,01% до 1,5%.

3.3. Вторичные эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 1-го разряда методом прямых измерений.

4.1.1. В качестве рабочих эталонов 1-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

4.1.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей и доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от 0,04% до 3%.

4.1.3. Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 2-го разряда и средствам измерений методом прямых измерений.

4.2.1. В качестве рабочих эталонов 2-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

4.2.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей и доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от 0,08% до 6%.

4.2.3. Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам 3-го разряда и средствам измерений методом прямых измерений.

4.3.1. В качестве рабочих эталонов 3-го разряда применяют приборы для измерений шероховатости (микроинтерферометры, интерференционные микровысотомеры, профилометры) и меры шероховатости в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 3000 мкм и Ra от 0,001 до 400 мкм.

4.3.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей и доверительные границы относительных погрешностей при доверительной вероятности 0,95 рабочих эталонов 3-го разряда составляют от 0,2% до 12%.

4.3.3. Рабочие эталоны 3-го разряда применяют для передачи единицы длины средствам измерений методом прямых измерений.

5.1. В качестве средств измерений применяют микроинтерферометры (МИИ), приборы светового (ПСС) и теневого (ПТС) сечений, профилометры контактные, приборы бесконтактные для измерений топографии поверхности, микроскопы сканирующие зондовые (СЗМ) и образцы шероховатости поверхности сравнения в диапазоне измерений параметров шероховатости Rmax, Rz от 0,001 до 12000 мкм и Ra от 0,001 до 3000 мкм.

5.2. Пределы допускаемых относительных погрешностей средств измерений составляют от 1% до 50%.