1. Разработчики: А.Н. Кузнецов, А.А. Кучин.

2. Утвержден и введен в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.1979 N 3261.

3. Срок проверки - 1995 г., периодичность - 5 лет.

4. Ссылочные нормативно-технические документы

5. Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.1991 N 551.

6. Переиздание (декабрь 1992 г.) с Изменениями N 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3-87, 7-91).

Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее - приборы), действие которых основано на принципе одновременного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров , Rz и S по ГОСТ 2789-73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.

Требования к величине линейного поля зрения (табл. 4, 5 и 6), а также требования пп. 2.1, 2.2.1 - 2.2.3, 2.4.1 - 2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования - рекомендуемыми.

(Измененная редакция, Изм. N 2).

Типы приборов устанавливаются следующие:

ПТС - прибор теневого сечения;

ПСС - прибор светового сечения;

МИИ - микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;

МПИ - микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2.1. Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл. 1.

Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл. 1.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2.2. Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и в пп. 2.2.1 - 2.2.3.

Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в Приложении 2.

2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.

2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.

2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.

2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. N 1).

2.4. Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1 - 2.4.3.

2.4.1. Искривление интерференционных полос в поле зрения в направлении измерения не должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона измерения от 0,05 до 0,1 мкм.

2.4.2. Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч после включения прибора.

2.4.3. Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения - 2 нм.

2.5. Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл. 6.

2.6. Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3, 5, 6.

2.7. Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл. 7.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

2.8. Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МПИ, определяемые по параметру , не должны превышать значений, указанных в табл. 8.

Приложение 1. (Исключено, Изм. N 1).

1. (Исключен, Изм. N 1).

2. Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС и ПСС - увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.