Скачать ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
Дата актуализации: 01.01.2021
ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне
| Обозначение: | ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020 |
| Обозначение англ: | GOST R ISO 14644-12-2020 |
| Статус: | введен впервые |
| Название рус.: | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне |
| Название англ.: | Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12. Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration |
| Дата добавления в базу: | 01.01.2021 |
| Дата актуализации: | 01.01.2021 |
| Дата введения: | 01.12.2020 |
| Область применения: | Стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты вощуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне. Для целей стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже — "нанодиапазон". Текущий контроль, представленный в стандарте, применим, в основном, для эксплуатируемого состояния. |
| Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 3.1 Общие термины 3.2 Размеры частиц 3.3 Аэрозольные частицы 3.4 Состояния чистого помещения 3.5 Средства контроля 4 Текущий контроль 4.1 Общие положения 4.2 Принцип контроля 4.3 Методы контроля 5 Протокол испытаний Приложение А (справочное) Стандартный метод текущего контроля (мониторинга) с помощью счетчика ядер конденсации Приложение В (справочное) Эффективность счета частиц и отсечка частиц по размерам Библиография |
| Разработан: | ООО Чистые технологии |
| Утверждён: | 23.07.2020 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (395-ст) |
| Нормативные ссылки: |
Федеральный закон 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации»
