Скачать ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукцииДата актуализации: 01.01.2024![Версия для печати](../../image/print.png) ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Обозначение: | ![Версия для печати](../../image/print.png) ГОСТ 5.2105-73 |
Статус: | действующий |
Название рус.: | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции | Название англ.: | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products | Дата актуализации текста: | 06.04.2015 | Дата актуализации описания: | 01.01.2021 | Дата издания: | 04.10.1973 | Дата введения: | 01.09.1973 | Код ОКП: | 443500 | Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов | |
![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/0.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/1.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/2.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/3.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/4.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/5.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/6.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/7.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/8.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/9.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/10.gif) ![ГОСТ 5.2105-73](../../Data/369/36930/11.gif)
|