Скачать ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требованияДата актуализации: 01.01.2024  ГОСТ 25196-82
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
| Обозначение: | ГОСТ 25196-82 |
| Статус: | действующий |
| Название рус.: | Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования | | Название англ.: | Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements | | Дата актуализации текста: | 06.04.2015 | | Дата актуализации описания: | 01.07.2023 | | Дата издания: | 04.05.1982 | | Дата введения: | 01.07.1983 | | Код ОКП: | 627335 | | Содержит требования: | СТ СЭВ 2760-80 | | Нормативные ссылки: |  ГОСТ 24786-81 | | Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники | |
|
  
|