Обозначение: | ![Версия для печати](../../image/print.png) ГОСТ Р 8.631-2007 |
Статус: | действующий |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки |
Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification |
Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
Дата актуализации описания: | 01.07.2023 |
Дата издания: | 10.02.2011 |
Дата введения: | 01.02.2008 |
Нормативные ссылки: | ГОСТ Р 8.628-2007; ГОСТ Р 8.629-2007; ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001; ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005; ГОСТ 12.2.061-81; ГОСТ ИСО 14644-1-2002 |
Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес. |
Список изменений: | №1 от 31.03.2011 (рег. 12.11.2010) «Поправка» |
Приложение №1: | Изменение №1 к ГОСТ Р 8.631-2007 |
|