Скачать ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Дата актуализации: 01.01.2021
ГОСТ Р 8.628-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.628-2007 |
| Обозначение англ: | GOST R 8.628-2007 |
| Статус: | введен впервые |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection |
| Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
| Дата актуализации: | 01.01.2021 |
| Дата введения: | 01.02.2008 |
| Область применения: | Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов. |
| Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа 5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления Библиография |
| Разработан: | ОАО НИЦ по изучению свойств поверхности и вакуума ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет) |
| Утверждён: | 21.05.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (96-ст) |
| Издан: | Стандартинформ (2007 г. ) Стандартинформ (2011 г. ) |
| Список изменений: |
|
| Нормативные ссылки: |
|
ГОСТ 19658-81 «Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия»
