Информационная система МЕГАНОРМ

База постоянно обновляется


Скачать ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Дата актуализации: 10.08.2017

ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Обозначение: ГОСТ Р 8.640-2008
Статус:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:10.08.2017
Дата издания:15.05.2008
Дата введения:01.01.2009
Дата последнего изменения:13.07.2017
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008ГОСТ Р 8.640-2008

 
Большая сборка документов
 
 
  Рейтинг@Mail.ru      

meganorm.ru

2015-2017